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内蒙古二氧化锆厂家性能介绍

2019-06-13

内蒙古二氧化锆(分子式ZrO2)具有坚硬,结实及不均匀之特性。该薄膜有时需要烘干以便除去它的吸收。其材料的纯度极为重要,纯度不够薄膜通常缺乏整体致密性,它得益于适当使用IAD来增大它的折射率到疏松值以便克服它的不均匀性。目前纯度达到99.99%基本上解决以上问题。ZrO2作为铝膜和银膜的保护膜,该膜层(指ZrO2)是在室温基板上使用700eV氩离子助镀而得到的。一般为白色柱状或块状,蒸汽分子为ZrO,O2。


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制程特性:

ZrO2颗粒,柱状或块状使用钨舟或钼舟。颗粒排杂气量较多,柱状或块状较少。真空度小于2*10-5Torr条件下蒸发可得到较稳定的折射率,真空度大于5*10-5Torr时蒸,膜折射率会稍下降。ZrO2材料连续蒸着时会产生不均质性,即开始折射率为2随着光学厚度的增长,折射率逐渐变小。ZrO2蒸镀时加入一定压力的氧气可以改善其材料之不均质性。


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